Gehuwd met Margaretha Brungersma, 28 mei 1648 te Groningen

Kinderen:

Cornelis Hillenius, geboren 18 december 1648

Petrus (Peter) (Essiasz) Hillenius, geboren 14 april 1650

Michiel Hillenius, geboren 13 juni 1656 te Bellingeweer

Anna Hillenius, geboren 1 mei 1658

Samuel Hillenius, geboren 7 augustus 1660

Alexander Hillenius, geboren 17 april 1662

Barbara Hillenius, geboren 5 juli 1663

Alexander Hillenius, geboren 11 februari 1665

Esaias Hillenius, geboren 28 juni 1668

Barbara Hillenius, geboren 26 december 1669

Gehuwd met Juliana Boulenius, 4 oktober 1685 te Usquert

Gehuwd met Maria van der Vliet, 1689